Mess- und Mikrosysteme

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Verfahren zum Ermitteln von Brechungsindex und Schichtdicke einer transparenten Schicht mittels Ellipsometrie (Ref.-Nr. 2505)

  • Expose_Ref.-Nr._2505.pdfDie Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der charakteristischen Kenngrößen von ultra-dünnen Oberflächen und oberflächennahen Schichten.