Verfahren zum Ermitteln von Brechungsindex und Schichtdicke einer transparenten Schicht mittels Ellipsometrie (Ref.-Nr. 2505)
- Expose_Ref.-Nr._2505.pdfDie Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der charakteristischen Kenngrößen von ultra-dünnen Oberflächen und oberflächennahen Schichten.
