Mess- und Mikrosysteme

Mess- und Mikrosysteme


Verfahren zum Ermitteln von Brechungsindex und Schichtdicke einer transparenten Schicht mittels Ellipsometrie (Ref.-Nr. 2505)

  • Expose_Ref.-Nr._2505.pdfDie Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der charakteristischen Kenngrößen von ultra-dünnen Oberflächen und oberflächennahen Schichten.

Vorrichtung zur Schallemissionsanalyse und HF-Ultraschall-Materialanalyse in Prüfvorrichtungen (Ref.-Nr. 11170)

  • Expose_Ref.-Nr._11170.pdfDie Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur simultanen Schallemissionsanalyse und HF-Ultraschall-Materialanalyse.